IF5320 (Fuori Produzione) Forno CSS a due zone 650C per l'elaborazione termica rapida OTF-1200X-RTP-II

Struttura del forno e camera a vuoto

• Riscaldatori doppi, due regolatori di temperatura e flussometri per gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio.
• La camera è costituita da un tubo di quarzo fuso di elevata purezza
• Dimensioni del tubo di quarzo: 11" OD/10,8" ID x 9" H
• Feltro in fibra di carbonio come isolamento termico
• Le flange per il vuoto sono realizzate in acciaio inox 316
• Dimensioni complessive: 850(L)×745(L)×1615(H) mm

Flange a vuoto

• La flangia superiore con una porta per il vuoto KFD-25 e due uscite per il gas (è necessario un tubo da 1/4") può scorrere verso l'alto o verso il basso manualmente per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato.
• La flangia inferiore ha una porta per il vuoto KFD-25 con due ingressi per il gas (è necessario un tubo da 1/4") e valvole a spillo.
• La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere una pressione massima di 10E-2 Torr con una pompa meccanica di qualità e 10E-5 Torr con una pompa molecolare.
• Il vacuometro digitale di precisione anticorrosione è incluso nella confezione standard.

Riscaldatore e portacampioni

• Due lampade IR a onde corte come elementi riscaldanti per un riscaldamento rapido.
• La distanza tra i due riscaldatori è regolabile da 10 a 50 mm.
• I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con una camicia di raffreddamento ad acqua per ridurre l'irradiazione di calore e consentire un rapido raffreddamento.
• Il supporto per wafer rotondo da 3" è integrato nel riscaldatore superiore per caricare il substrato
• È inclusa una piastra AlN ad alta conducibilità termica (3" di diametro x 0,5 mm di spessore), che deve essere posizionata sul retro del substrato per riscaldarlo uniformemente.
• In alternativa alla piastra AIN è possibile utilizzare una piastra di grafite da 3".
• La sostituzione del riscaldatore a luce alogena è disponibile a un costo aggiuntivo.

Regolatore di temperatura

• Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili per controllare in modo indipendente i riscaldatori superiore e inferiore
• Ciascun regolatore è dotato di una funzione di autotuning PID per proteggere i riscaldatori dal surriscaldamento e di una funzione di allarme per evitare il surriscaldamento e la rottura dell'accoppiamento termico.
• Interfaccia di comunicazione e software per PC installati

Temperatura di lavoro

• Temperatura massima per ciascun riscaldatore: ≤ 650℃
• La differenza massima di temperatura tra due riscaldatori: ≤ 300℃ dipende dalla distanza tra due riscaldatori:

Velocità di riscaldamento e raffreddamento

• Riscaldamento: < 8℃/s (solo riscaldamento di un singolo riscaldatore)
• Raffreddamento: < 10℃/s (600 - 100℃) Max.

Coppia termica

• Due coppie termiche di tipo K (esposte) sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore.

Tensione di lavoro

• 208 - 240 VCA, monofase, interruttore aria 20A

Potenza richiesta

• 2200W totali (1100W per ciascun riscaldatore)

Garanzia

• Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita (le parti di consumo, come i tubi al quarzo e le lampade di riscaldamento, non sono coperte dalla garanzia).

Conformità

• Certificazione CE