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IF5686 (Fuori Produzione) 1100C Forno verticale KSL-1100X-L-VT

Catalogo no. IF5686
Numero di articolo KSL-1100X-L-VT
Temperatura di lavoro 1000℃ continuamente
Temperatura massima di lavoro Temperatura di lavoro 1100℃, ≤1 ora
Dimensioni della camera di riscaldamento 400*400*400mm

Fuori Produzione

Ilforno verticale 1100C è un forno a due zone con caricamento dall'alto progettato per applicazioni ad alto vuoto, con una temperatura operativa massima di 1200°C. Stanford Advanced Materials (SAM) ha una ricca esperienza nella produzione e fornitura di forni ad alto vuoto a camera di alta qualità.

Prodotti correlati: Forno a vuoto a caricamento dal basso a 1200°C con raffreddamento rapido VBF-1200X-E8, Forno a vuoto alto a camera a 800°C VBF-800X-H, Forno a vuoto verticale a 1100°C con flangia VBF-1200X-V9

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Forno verticale 1100C KSL-1100X-L-VT Descrizione

Ilforno verticale 1100C è un forno verticale a tenuta di vuoto con una camera a tubi di quarzo di Ø200ר190×H425 mm, completa di flange e valvole in acciaio inox. Questo forno è dotato di una turbopompa Torr che consente di raggiungere un livello di vuoto di 10^-5 Torr. Progettato per la calcinazione o la ricottura di wafer di semiconduttori (fino a 8 pollici di diametro), funziona sotto vuoto o in diverse atmosfere gassose, raggiungendo temperature fino a 1100°C.

Forno verticale 1100C KSL-1100X-L-VT Caratteristiche tecniche

Caratteristiche

  • Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza che circonda la camera
  • Tre lati del forno sono riscaldati, con una velocità di riscaldamento rapida e un campo di temperatura uniforme.

Parametri di base

  • Temperatura massima di riscaldamento: 1100℃ (< 1 ora)
  • Temperatura di riscaldamento continuo: 1000°C
  • Velocità di riscaldamento consigliata: 10°C /min
  • Elemento riscaldante: Filo di resistenza Ni-Cr-Al
  • Termocoppia: Tipo K

Potenza

220V AC, 7,5 KW, 50Hz

Controllo della temperatura

  • È incluso un regolatore di temperatura digitale certificato NRTL
  • Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune
  • 50 segmenti programmati con fasi di rampa, raffreddamento e dimora
  • Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia
  • Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC
  • Porta di comunicazione PC DB9 predefinita inclusa per il collegamento al PC.
  • Il termoregolatore Eurotherm è disponibile a un costo aggiuntivo con una precisione di +/-0,1°C.

Dimensioni complessive

980 mm L * 730 mm W * 880 mm H

Peso netto

125 kg

Garanzia

  • Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita.
  • ATTENZIONE: eventuali danni causati dall'uso di gas corrosivi e acidi non sono coperti dalla garanzia limitata di un anno SAM.

Certificato

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.

Forno verticale 1100C KSL-1100X-L-VT Applicazioni

  • Produzione di semiconduttori: Utilizzato per la fabbricazione di dispositivi a semiconduttore come wafer di silicio, MEMS (Sistemi Micro-Elettro-Meccanici) e celle fotovoltaiche. I forni verticali vengono utilizzati per processi quali ossidazione, diffusione, LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) e ricottura.
  • Deposizione di film sottili: Utilizzati per la deposizione di film sottili su substrati con tecniche quali CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition) e ALD (Atomic Layer Deposition). I forni verticali forniscono un ambiente controllato per un controllo preciso dello spessore e della composizione del film.
  • Produzione di celle solari: Si applica alla produzione di celle solari e moduli fotovoltaici. I forni verticali sono utilizzati per processi quali la diffusione, la deposizione del rivestimento antiriflesso e la metallizzazione per migliorare l'efficienza e le prestazioni delle celle solari.

Forno verticale 1100C KSL-1100X-L-VT Imballaggio

Il nostro forno verticale 1100C KSL-1100X-L-VT viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.

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